ISO 14644-1

ISO 14644-1 definieert de classificatie van luchtzuiverheid in cleanrooms en bijbehorende gecontroleerde omgevingen uitsluitend op basis van de concentratie van deeltjes in de lucht. Alleen populaties van deeltjes met cumulatieve verdelingen op basis van drempelwaarden (ondergrenzen) voor deeltjesgroottes variërend van 0,1 μm tot 5 μm worden in beschouwing genomen voor classificatiedoeleinden.

Opmerkingen:

10. a) Alle concentraties in de tabel zijn cumulatief; bijv. voor ISO-klasse 5 omvatten de 10.200 deeltjes die bij 0,3 μm worden weergegeven alle deeltjes die gelijk zijn aan of groter zijn dan deze grootte.

1. b) Deze concentraties leiden tot grote luchtmonstervolumes voor classificatie. Er kan een sequentiële bemonsteringsprocedure worden toegepast; zie bijlage D.
2. c) Concentratielimieten zijn in dit gebied van de tabel niet van toepassing vanwege een zeer hoge deeltjesconcentratie.
3. d) Bemonsterings- en statistische beperkingen voor deeltjes in lage concentraties maken classificatie ongepast.
4. e) Beperkingen bij het verzamelen van monsters voor zowel deeltjes in lage concentraties als voor groottes groter dan 1 μm maken classificatie bij deze deeltjesgrootte ongepast, vanwege mogelijke deeltjesverliezen in het bemonsteringssysteem.

1. f) Om deze deeltjesgrootte te specificeren in combinatie met ISO-klasse 5, kan de macrodeeltjes-descriptor M worden aangepast en gebruikt in samenhang met ten minste één andere deeltjesgrootte (zie C.7.).